Melexis, MEMS 압력 센서의 세계를 혁신하는 Triphibian™ 출시
2024년 1월 18일 벨기에, 테센데를로 – Melexis는 새로 특허 받은 TriphibianTM 기술이 적용된 최초의 제품 MLX90830을 출시했습니다. 이 혁신적인 소형 MEMS 압력 센서는 2~70bar의 기체 및 액체 매질을 강건한 방식으로 측정합니다. 공장에서 교정된 이 제품은 절대압을 측정하고 이에 비례하는 아날로그 신호로 출력합니다. MLX90830은 최신 전기차(EV)의 열 관리 시스템에서 시스템 통합을 간소화하여 모듈의 비용 효율성을 높입니다.
MLX90830의 핵심은 Melexis의 혁신적인 TriphibianTM 기술로, 이는 MEMS(Micro Electro-Mechanical System) 센서가 5bar를 훨씬 초과하고 액체와 접촉한 상태에서도 매우 정확히 측정할 수 있게 합니다. 기체 및 액체 호환성과 고압 센싱의 혁신적인 조합은 MLX90830의 독특한 구조로 인해 가능합니다. 센싱 메커니즘은 끝 부분에 다이어프램이 위치한 캔틸레버가 SO16 패키지 내부에 매달린 형태를 포함합니다.
센서의 매달린 캔틸레버 설계는 최대 2000bar/msec의 압력 스파이크와 최대 210bar의 정적 파괴압 레벨을 견딜 수 있으며, 제공되는 두 가지 교정 범위(10, 35bar)는 각각 저압/고압 냉매 루프를 포함하여 전기차(EV) 열 관리 시스템의 고유한 요구 사항을 충족하도록 맞춤 설계되었습니다. MLX90830의 설계는 유리 받침대 측과 와이어 본딩 측 사이의 압력 차이가 여전히 발생하는 후면 노출 솔루션보다 본질적으로 더 견고합니다. 압력 평형화 원리는 냉동 매질에서도 유효하여, MLX90830은 MEMS 압력 센서로서는 이러한 조건에서도 작동할 수 있는 최초의 제품입니다.
기존의 비MEMS 기반 설계와 비교하여 MLX90830은 향상된 정확도와 견고한 설계를 자랑하며, 차량의 열 관리 시스템의 효율성을 최적화하여 주행 가능 거리를 늘릴 수 있습니다. 또한 컴팩트한 내장형 패키징은 독립형 센서 모듈에 비해 센서 부피를 줄여줍니다.
MLX90830 은 센서 Readout 회로, 디지털 하드웨어, 전압 조정기, 아날로그 출력 드라이버를 포함합니다. 멤브레인에 이식된 압전 저항 소자가 휘트스톤 브리지를 형성하여 출력 신호를 생성합니다. 이 신호를 증폭하여 디지털 형식으로 변환 후, 16비트 디지털 신호 처리기(DSP)가 온도 보상을 적용하여 아날로그 출력으로 결과가 제공됩니다.
센서는 과전압(+40V 이상) 및 역전압(-40V 이하)에 대한 첨단 보호 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이로 인해 트럭 애플리케이션에 사용하기에 적합합니다. MLX90830은 ISO 26262에 준하여 SEooC(Safety Element out of Context)로 개발되었으며, 최대 ASIL B 시스템 통합까지 지원하여 최신 전기차(EV) 안전 요구 사항을 충족합니다.
“TriphibianTM 기술을 기반으로 소형화되고 공장에서 정확히 교정되어 제공되는 MEMS 압력 센서를 통해 전기차(EV)의 열 관리 시스템을 중앙 집중화하여 크기를 줄이고 시스템의 신뢰성을 높일 수 있습니다”라고 압력 센서 제품 관리자 Karel Claesen이 설명했습니다. “MLX90830은 고객들이 쉽게 독립형 장치로 통합하거나 시스템에 내장할 수 있습니다.”
수석 제품 라인 관리자 Laurent Otte는 “MEMS 센서는 TriphibianTM 기술을 통해 측정하는 압력 범위를 높일 수 있을 뿐만 아니라 측정하는 매질의 종류를 확장할 수 있습니다”라고 밝혔습니다. “역사적으로 MEMS 기술로는 해결할 수 없었던 액체 매질의 압력 측정은 자동차 산업 뿐만 아니라 그 외의 분야의 애플리케이션에도 적용할 수 있는 길을 열어줍니다.”
자세한 정보는 www.melexis.com/MLX90830에서 확인하거나 www.melexis.com/contact로 직접 문의하시기 바랍니다.